29回結晶成長討論会(通称:放談会)にて

CZシリコン結晶成長の基本問題」 と題する討論参加へのお誘い

 

 

基本問題は2つあります。1つは熱バランス式中の結晶中と融液中の温度勾配は成長速度の増加関数か、減少関数かであります。増加関数ならば成長速度が無限大も可能になります。もう一つはVoronkovの理論式中のv/GのGをVoronkov自身は成長速度に対して一定と云っていますが、問題1との関係を明らかにする事であります。

 

問題1に関しては、旧JSUPにて井上リーダーにより、4〜5年前に十分時間をかけて、議論済みであり、かつ新しい実験結果も得られておりません。しかし、旧JSUPメンバー以外の2,3の方から結晶中の温度勾配は成長速度の減少関数であるとの指摘があります。

 

多くの方がCZのシミュレーションの重要性を語り、熱物性値の整備の重要性を提唱しておりますが、筆者は上記基本問題を明確にすべきと考え、旧JSUPメンバーを中心にもう一度議論していただきたく、放談会主催者から頂いた貴重な時間を使い、次のプログラムを作りました。

 

日時:2004/8/29(日)
場所:国立オリンピック記念青少年総合センター内国際交流棟2F第1ミーティングルーム
   小田急参宮橋駅から徒歩10分、詳細は地図http://www.nyc.go.jp/users/d6-4.html

 

 

 

 

 

 

時間割

説明と討論

担当

1

   9. 00 –  9. 30

熱バランス式

阿部

2

   9. 30 – 10. 00

Voronkovの理論

阿部

3

  10. 00 – 10. 30

JSUPの議論まとめ

井上

4

  10. 30 – 11. 00

理論の立場から

塚田

5

  11. 00 – 11. 15

全体のまとめ

和田

 

なお、11時15分から本放談会のまとめの行事があり、これにも参加いただき、昼食後解散を予定しております。参加費と昼食代として1,000円です。旅費や講演料は出ませんので了解下さい。出欠と御意見あれば阿部に連絡して下さい。

以上

(コーディネータ: 阿部孝夫)